关键技术
1个原子厚的二维半导体!生长400次只失败3次
📋总体概括
韩国科学技术院(KAIST)与初创公司TDS Innovation团队在《自然》发表论文,提出刻蚀通量介导的单一中心成核技术(EF-SCN),通过在生长区域四周构筑氧化物阻挡层,利用分解释放的氧气形成刻蚀通量,抑制中心以外的成核,让二硫化钼单层晶体只在指定中心位置生长,报道称400次生长仅失败3次。用该工艺制备的场效应晶体管载流子迁移率高于以往选择性生长二硫化钼器件的水平,为二维半导体走向晶圆级批量制造提供关键工艺路径。
⚡关键信息
- ▸KAIST与TDS Innovation团队在《自然》发表论文,提出EF-SCN单一成核生长方法
- ▸工艺在生长区四周做氧化物阻挡层,靠分解释放的氧气刻蚀通量压制中心外成核
- ▸报道数据显示400次生长仅3次失败,单中心成核大幅提升良率与一致性
- ▸所得MoS₂场效应晶体管迁移率超过此前选择性生长同类器件的报告水平
- ▸石墨烯无带隙不能做晶体管,MoS₂等过渡金属硫化物被视为接替硅的候选
🔥犀利点评
半导体圈的真相从来不是能不能做出来,而是能不能稳定地做一百万次。单原子层材料卡了一直是成核位置随机导致的晶界问题,这次用一圈氧化物把成核逼到几何中心,思路简单到近乎漂亮——好工程往往如此。400次失败3次的良率如果可复现,比迁移率数字更有分量。但实验室匀质晶圆到先进制程量产之间还隔着缺陷密度、界面散射和CMOS集成三座山,别急着宣判硅的死刑。
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